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以下就是復合式分子泵的詳細特性所在

 
  隨著復合式分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環境。
  復合式分子泵用來獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術的電子、冶金、化工、科研等眾多領域。
  復合式分子泵的結構特點:
  復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合,集兩種泵的優點于一體。泵在很寬的壓力范圍內((10-6~1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。法國Alcatle公司生產的一種采用氣體靜承和動密封的復合分子泵,可以做到完全無油,且不用前級泵直接向大氣中排氣。
  在復合式分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以提高泵的抽氣性能。

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